Программное обеспечение COMSOL MEMS Module (Micro Electro Mechanical Systems) предназначено для анализа физических явлений в сложных микрооборудованиях, таких как, регуляторы, датчики или фильтры. С точки зрения эксплуатации, MEMS Module содержит множество сопряженных задач. Для анализа микрофлюидных систем следует использовать COMSOL Microfluidics Module.

Область применения COMSOL MEMS Module:

• Интегрированные силиконовые сенсоры напора.
  
• Акселерометры.
  
• Сенсоры движения, акустические датчики.
  
• Датчики в химии и биохимии.
  
• Консольные балки.
  
• Микроволновые датчики.
  
• Оборудования из радиочастотной области.
  
• Датчики и фильтры наземных акустических волн.